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レーザー顕微鏡
印刷用ページを表示する 更新日:2021年8月5日更新
- 分類
- C:顕微鏡:その他
- 対象
- 仕様
光源:バイオレット半導体レーザ
観察倍率:200・400・1000・2000倍(6倍までのズーム機能あり)- 用途
- 金属、電子・電気部品などの表面形状計測
- 製造者
- 株式会社キーエンス
- 型番
- VK-9700
- 導入年度
- 2008(平成20年度)
- 設置場所
- 城南支所
- グループ
- 城南支所
- 試験規格対応
- 備考
試料の表面をレーザで走査し、反射光量をもとに画像を作ります。焦点の合った点が最も反射光量が多く、1つの面において最も反射光量が多い点についての画像情報をZ軸方向に合成することにより、全体として焦点深度の深い画像を得ることができます。
視野範囲が必要とする領域に足らない場合には、画像連結機能により複数の画像を合成し、一枚の画像データとして扱うことができます。本装置には電動ステージが付属しており自動での画像連結(最大400枚)が可能です。
取得したデータに基づき多種多様な測定(形状・粗さ・体積・表面積・透明体厚みなど)が可能です。計測は画像を見ながら任意の箇所について行うことができます。
設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
---|---|---|---|---|---|
機器利用 | 3.4. | レーザー顕微鏡 [1時間につき] | S31411 | 1,180円 | 2,540円 |
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