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レーザー顕微鏡

印刷用ページを表示する 更新日:2021年8月5日更新
設備利用
機器利用
分類
C:顕微鏡:その他
対象
 
仕様

光源:バイオレット半導体レーザ
観察倍率:200・400・1000・2000倍(6倍までのズーム機能あり)

用途
金属、電子・電気部品などの表面形状計測
製造者
株式会社キーエンス
型番
VK-9700
導入年度
2008(平成20年度)
設置場所
城南支所
グループ
城南支所
試験規格対応
備考

試料の表面をレーザで走査し、反射光量をもとに画像を作ります。焦点の合った点が最も反射光量が多く、1つの面において最も反射光量が多い点についての画像情報をZ軸方向に合成することにより、全体として焦点深度の深い画像を得ることができます。
視野範囲が必要とする領域に足らない場合には、画像連結機能により複数の画像を合成し、一枚の画像データとして扱うことができます。本装置には電動ステージが付属しており自動での画像連結(最大400枚)が可能です。
取得したデータに基づき多種多様な測定(形状・粗さ・体積・表面積・透明体厚みなど)が可能です。計測は画像を見ながら任意の箇所について行うことができます。

設備利用料金表
設備利用 分類番号 試験項目 項目コード 中小料金 一般料金
機器利用 3.4. レーザー顕微鏡 [1時間につき] S31411 1,180円 2,440円

レーザー顕微鏡

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