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100kV電子ビーム描画装置

印刷用ページを表示する 更新日:2016年12月19日更新
設備利用
機器利用
分類
N:半導体製造・MEMS加工
対象
 
仕様

加速電圧:25、50、75、100kV
最小線幅:8nm
試料サイズ:直径2インチ から 直径6インチ まで(ウエハ)、2.5インチ×2.5インチ から 5インチ×5インチ まで(マスク)
フィールド継ぎ精度:40nm

用途
回折格子やモスアイなどナノメートル単位のパターニング
製造者
株式会社エリオニクス
型番
ELS-7000Ac
導入年度
2011
設置場所
本部
グループ
電気電子技術グループ
試験規格対応
備考

ライセンス制度対象機器

設備はクリーンルーム内にあります。
対象機器を初めて利用される場合は、2日間程度の利用方法習得セミナー(有料)を受講し、ライセンスを取得してください。

設備利用料金表
設備利用 分類番号 試験項目 項目コード 中小料金 一般料金
機器利用 18.1. 電子線描画装置 (2)100kV電子ビーム描画装置(ライセンス制度対象機器) [1時間につき] J12 9,520円 18,980円

100kV電子ビーム描画装置

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  • ご利用方法・ご利用料金は各ページにてご確認下さい。依頼試験のページを見る 機器利用のページを見る
  • 代表的な試験の料金を表示しています。詳しくは試験担当者にお問い合わせください。
  • 企業規模、業種によって料金が異なります。適用料金、支払方法は適用料金の分類をご覧ください。

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