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9 MEMS関連機器

試験項目項目コード中小料金一般料金
9.1.1. ダイボンダ(エポキシダイボンダ)
[1時間につき]S91111 370円 770円
9.1.2. ダイボンダ(共晶ダイボンダ)
[1時間につき]S91121 560円 980円
9.1.3. ダイボンダ(フリップチップボンダ)
[1時間につき]S91131 1,280円 2,610円
9.2.1. ワイヤボンダ(ウェッジワイヤボンダ)
[1時間につき]S91211 450円 890円
9.2.2. ワイヤボンダ(アルミ線 <材料費> )
<材料費>[1mにつき]S9122S 240円 240円
9.2.3. ワイヤボンダ(ボールワイヤボンダ)
[1時間につき]S91231 400円 860円
9.2.4. ワイヤボンダ(金線 <材料費> )
<材料費>[1mにつき]S9124S 290円 290円
9.2.5. ワイヤボンダ(太線ワイヤボンダ)
[1時間につき]S91251 490円 1,020円
9.3.1. ディスペンサ(ディスペンサロボット)
[1時間につき]S91311 350円 670円
9.3.2. ディスペンサ(サブフェムトインクジェット加工装置)
[1時間につき]S91321 1,020円 2,030円
9.3.3. ディスペンサ(標準ノズル <材料費> )
<材料費>[1本につき]S9133S 1,950円 1,950円
9.4.1. ボンディングテスタ
[1時間につき]S91411 490円 1,020円
9.5.2. プラズマクリーニングシステム
[1時間につき]S91511 840円 1,470円
9.6.1. ドライエッチング装置(高速ディープエッチング装置※ライセンス制度対象機器)
[1時間につき]S91611 3,840円 7,010円
9.6.2. ドライエッチング装置(RIE装置)
[1時間につき]S91621 1,700円 3,310円
9.7.1. 成膜装置(ECRイオンシャワー装置)
[1時間につき]S91711 1,410円 2,900円
9.8.1. 紫外線露光装置(両面マスクアライナ)
[1時間につき]S91811 960円 1,920円
9.9.1. マスクレス露光装置
[1時間につき]S91911 2,450円 4,960円
9.10.1. スピンコータ
[1時間につき]S92111 360円 730円
9.11.1. ダイシングソー(ダイシングソー※ライセンス制度対象機器)
[1時間につき]S92211 1,140円 2,390円
9.11.2. ダイシングソー(ハブタイプブレード 工具費 )
工具費[1件につき]S9222S 6,280円 6,280円
9.11.3. ダイシングソー(リングタイプブレード 工具費 )
工具費[1件につき]S9223S 4,710円 4,710円
9.11.4. ダイシングソー(洗浄機)
[1時間につき]S92241 390円 670円
9.11.5. ダイシングソー(テープマウンタ)
[1時間につき]S92251 260円 500円
9.11.6. ダイシングソー(テープマウンタ ダイシングテープ <材料費> )
<材料費>[1mにつき]S9226S 310円 310円
9.11.7. ダイシングソー(UV照射装置)
[1時間につき]S92271 270円 510円
9.12.1. レーザー型彫り装置
[1時間につき]S92311 3,110円 6,220円
9.13.1. 成膜装置(マグネトロンスパッタ※ライセンス制度対象機器)
[1時間につき]S92411 2,710円 5,060円
9.13.2. 成膜装置(イオンビームスパッタ)
[1時間につき]S92421 2,600円 5,230円
9.14.1. ナノインプリント(※ライセンス制度対象機器)
[1時間につき]S92511 1,640円 3,250円
9.15.1. スピン現像機
[1時間につき]S92611 770円 1,050円
9.16.1. 大気圧プラズマクリーニング装置
[1時間につき]S92711 1,720円 2,240円
9.17.1. 放電プラズマ焼結機
[1時間につき]S92811 3,470円 6,940円
9.18.1. 触針式薄膜段差計
[1時間につき]S92911 760円 1,570円

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