| 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
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| 9.1. ダイボンダ |
| エポキシダイボンダ[1時間につき] | S91111 |
370円
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830円
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| 共晶ダイボンダ[1時間につき] | S91121 |
560円
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1,030円
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| フリップチップボンダ[1時間につき] | S91131 |
1,280円
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2,780円
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| 9.2. ワイヤボンダ |
| ウェッジワイヤボンダ[1時間につき] | S91211 |
500円
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990円
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| アルミ線 ＜材料費＞[1mにつき] | S9122S |
240円
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240円
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| ボールワイヤボンダ[1時間につき] | S91231 |
440円
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930円
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| 金線 ＜材料費＞[1mにつき] | S9124S |
290円
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290円
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| 太線ワイヤボンダ[1時間につき] | S91251 |
490円
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1,100円
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| 9.3. ディスペンサ |
| ディスペンサロボット[1時間につき] | S91311 |
380円
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740円
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| 9.4. ボンディングテスタ |
| [1時間につき] | S91411 |
490円
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1,090円
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| 9.5. プラズマクリーニングシステム |
| [1時間につき] | S91511 |
840円
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1,570円
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| 9.6. ドライエッチング装置 |
| 高速ディープエッチング装置（※ライセンス制度対象機器） [1時間につき] | S91611 |
3,840円
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7,090円
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| RIE装置 [1時間につき] | S91621 |
1,700円
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3,370円
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| 9.7. 成膜装置 |
| ECRイオンシャワー装置[1時間につき] | S91711 |
1,410円
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3,010円
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| 9.8. 紫外線露光装置 |
| 両面マスクアライナ [1時間につき] | S91811 |
960円
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1,920円
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| 9.9. マスクレス露光装置 |
| [1時間につき] | S91911 |
2,450円
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5,120円
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| 9.10. スピンコータ |
| [1時間につき] | S92111 |
360円
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780円
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| 9.11. ダイシングソー |
| ダイシングソー（※ライセンス制度対象機器） [1時間につき] | S92211 |
1,140円
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2,530円
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| ハブタイプブレード 工具費 [1件につき] | S9222S |
6,280円
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6,280円
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| リングタイプブレード 工具費 [1件につき] | S9223S |
4,710円
|
4,710円
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| 洗浄機 [1時間につき] | S92241 |
390円
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680円
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| テープマウンタ [1時間につき] | S92251 |
260円
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510円
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| テープマウンタ ダイシングテープ ＜材料費＞ [1mにつき] | S9226S |
310円
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310円
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| UV照射装置 [1時間につき] | S92271 |
270円
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520円
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| 9.13. 成膜装置 |
| マグネトロンスパッタ（※ライセンス制度対象機器） [1時間につき] | S92411 |
2,710円
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5,150円
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| イオンビームスパッタ [1時間につき] | S92421 |
2,600円
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5,350円
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| 9.14. ナノインプリント |
| （※ライセンス制度対象機器）[1時間につき] | S92511 |
1,640円
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3,360円
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| 9.15. スピン現像機 |
| [1時間につき] | S92611 |
770円
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1,140円
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| 9.16. 大気圧プラズマクリーニング装置 |
| [1時間につき] | S92711 |
1,720円
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2,430円
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| 9.17. 放電プラズマ焼結機 |
| [1時間につき] | S92811 |
3,470円
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6,940円
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| 9.18. 触針式薄膜段差計 |
| [1時間につき] | S92911 |
760円
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1,680円
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