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スピン現像機

印刷用ページを表示する 更新日:2021年8月5日更新
設備利用
機器利用
分類
N:半導体製造・MEMS加工
対象
電気・電子
仕様

現像方式:スイングノズル方式によるスプレー/パドル現像
チャンバー材質:ステンレス材
薬液搬送:

  • 薬液1=加圧タンク
  • 薬液2=ポンプ
  • リンス(純粋)=ポンプ
対応ウェハサイズ:□1inchからφ6inch
ウェハ回転数:0から3,000rpm

用途
フォトレジストの現像処理
製造者
ミカサ株式会社(滝沢産業株式会社)
型番
AD-1200
導入年度
2018
設置場所
本部
グループ
組織変更に伴う更新作業中となります。
試験規格対応
備考

設備はクリーンルーム内にあります。

現像液の持込みについてはご相談ください。

料金表については料金改定に伴う更新作業中となります。
ご迷惑をおかけいたしますが、ご理解のほどよろしくお願いいたします。
ご利用料金につきましては、機器利用一覧(料金表)依頼試験一覧(料金表)をご覧ください。

スピン現像機画像

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  • 企業規模、業種によって料金が異なります。適用料金、支払方法は適用料金の分類をご覧ください。

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