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触針式薄膜段差計
印刷用ページを表示する 更新日：2021年8月5日更新
- 分類
- N：半導体製造・MEMS加工
- 対象
- 仕様
垂直方向測定レンジ ： 6.5μm, 65.5μm, 524μm
触針圧 ： 1.0mg から 15mg まで
測定距離（XY） ： 55mm まで
ステージ移動範囲 ： X ±100mm, Y ±100mm （マニュアル移動式）
最大試料寸法 ： φ200mm
最大試料厚さ ： 50mm- 用途
- シリコンウエハ等、基板上の段差や表面形状の測定
- 製造者
- Bruker Japan K.K.
- 型番
- DekTak XT
- 導入年度
- 2019
- 設置場所
- 本部
- グループ
- 電気技術グループ
- 試験規格対応
- 備考
設備はクリーンルーム内にあります。
発塵の恐れがある試料や汚染されている試料の持ち込みはできません。
| 設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
|---|---|---|---|---|---|
| 機器利用 | 9.18. | 触針式薄膜段差計 [1時間につき] | S92911 | 760円 | 1,570円 |
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