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スピンコータ

印刷用ページを表示する 更新日:2021年8月5日更新
設備利用
機器利用
分類
N:半導体製造・MEMS加工
対象
電気・電子
仕様

回転数:0rpmから7000rpmまで
加速:1.6sec以下/5000rpm
回転精度:負荷時±1rpm
プログラミング:最大10ステップ(1ステップで回転数、回転時間、加減速時間を設定可能)
試料台材質:アルミ製(φ100mm用のみデルリン製)
対応基板サイズ:φ4インチまで、または、100mm×100mm基板まで
その他:100mm×100mm用試料台のみフィルムシートに対応可

用途
リソグラフィ用レジスト膜の成膜、樹脂材料の塗布など
製造者
株式会社アクティブ
型番
ACT-300A II (7000rpm仕様)
導入年度
2017
設置場所
本部
グループ
組織変更に伴う更新作業中となります。
試験規格対応
備考

設備はクリーンルーム内にあります。
ドラフトチャンバー内に設置。

料金表については料金改定に伴う更新作業中となります。
ご迷惑をおかけいたしますが、ご理解のほどよろしくお願いいたします。
ご利用料金につきましては、機器利用一覧(料金表)依頼試験一覧(料金表)をご覧ください。

密閉型スピンコータ-の写真

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  • ご利用方法・ご利用料金は各ページにてご確認下さい。依頼試験のページを見る 機器利用のページを見る
  • 代表的な試験の料金を表示しています。詳しくは試験担当者にお問い合わせください。
  • 企業規模、業種によって料金が異なります。適用料金、支払方法は適用料金の分類をご覧ください。

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