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スピンコータ
印刷用ページを表示する 更新日:2021年8月5日更新
- 分類
- N:半導体製造・MEMS加工
- 対象
- 電気・電子
- 仕様
回転数:0rpmから7000rpmまで
加速:1.6sec以下/5000rpm
回転精度:負荷時±1rpm
プログラミング:最大10ステップ(1ステップで回転数、回転時間、加減速時間を設定可能)
試料台材質:アルミ製(φ100mm用のみデルリン製)
対応基板サイズ:φ4インチまで、または、100mm×100mm基板まで
その他:100mm×100mm用試料台のみフィルムシートに対応可- 用途
- リソグラフィ用レジスト膜の成膜、樹脂材料の塗布など
- 製造者
- 株式会社アクティブ
- 型番
- ACT-300A II (7000rpm仕様)
- 導入年度
- 2017
- 設置場所
- 本部
- グループ
- 電気技術グループ
- 試験規格対応
- 備考
設備はクリーンルーム内にあります。
ドラフトチャンバー内に設置。
設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
---|---|---|---|---|---|
機器利用 | 9.10. | スピンコータ [1時間につき] | S92111 | 360円 | 730円 |
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