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スピンコータ
印刷用ページを表示する 更新日：2021年8月5日更新
- 分類
- N：半導体製造・MEMS加工
- 対象
- 電気・電子
- 仕様
回転数：0rpmから7000rpmまで
加速：1.6sec以下／5000rpm
回転精度：負荷時±1rpm
プログラミング：最大10ステップ（1ステップで回転数、回転時間、加減速時間を設定可能）
試料台材質：アルミ製（φ100mm用のみデルリン製）
対応基板サイズ：φ4インチまで、または、100mm×100mm基板まで
その他：100mm×100mm用試料台のみフィルムシートに対応可- 用途
- リソグラフィ用レジスト膜の成膜、樹脂材料の塗布など
- 製造者
- 株式会社アクティブ
- 型番
- ACT-300A II （7000rpm仕様）
- 導入年度
- 2017
- 設置場所
- 本部
- グループ
- 電気技術グループ
- 試験規格対応
- 備考
設備はクリーンルーム内にあります。
ドラフトチャンバー内に設置。
| 設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
|---|---|---|---|---|---|
| 機器利用 | 9.10. | スピンコータ [1時間につき] | S92111 | 360円 | 780円 |
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