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プラズマクリーニングシステム

印刷用ページを表示する 更新日:2016年12月19日更新
設備利用
機器利用
分類
N:半導体製造・MEMS加工
対象
 
仕様

並行平板型電極タイプ

  • エッチングモード:RIE(リアクティブイオンエッチング)モード、PE(プラズマエッチング)モード選択可能
  • 導入ガス:アルゴン、酸素、アルゴン/酸素混合
  • 出力:250W まで
  • 最大ワーク寸法:290mm×210mm以下
用途
有機物、無機物の汚れを表面プラズマ洗浄により除去。接着性改善。
製造者
サムコ株式会社
型番
PC-300
導入年度
2011
設置場所
本部
グループ
組織変更に伴う更新作業中となります。
試験規格対応
備考
料金表については料金改定に伴う更新作業中となります。
ご迷惑をおかけいたしますが、ご理解のほどよろしくお願いいたします。
ご利用料金につきましては、機器利用一覧(料金表)依頼試験一覧(料金表)をご覧ください。

プラズマクリーニングシステム

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