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プラズマクリーニングシステム
印刷用ページを表示する 更新日：2016年12月19日更新
- 分類
- N：半導体製造・MEMS加工
- 対象
- 仕様
並行平板型電極タイプ
- エッチングモード：RIE（リアクティブイオンエッチング）モード、PE（プラズマエッチング）モード選択可能
- 導入ガス：アルゴン、酸素、アルゴン／酸素混合
- 出力：250W まで
- 最大ワーク寸法：290mm×210mm以下
- 用途
- 有機物、無機物の汚れを表面プラズマ洗浄により除去。接着性改善。
- 製造者
- サムコ株式会社
- 型番
- PC-300
- 導入年度
- 2011
- 設置場所
- 本部
- グループ
- 電気技術グループ
- 試験規格対応
- 備考
| 設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
|---|---|---|---|---|---|
| 機器利用 | 9.5. | プラズマクリーニングシステム [1時間につき] | S91511 | 840円 | 1,470円 |
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