ECRイオンシャワー装置

プラズマ生成方式：電子サイクロトロン共鳴（Electron Cyclotron Resonance：ECR）
イオン銃：成膜・エッチング用およびイオンアシスト用の2基イオン銃
加速電圧：20V から 3000V まで（3レンジ、連続可変）
プロセスガス：Ar、O2
試料ステージ：傾斜角可変ステージおよび傾斜角固定ステージの2ステージ
最大試料寸法：直径100mm
試料固定方式：押さえ爪式
真空度：動作範囲 6×10-3Pa から 2×10-2Pa  （到達真空度  1×10-4Pa台）

設備はクリーンルーム内にあります。
O2ガスをご利用の際は別途ご相談ください。
直径4インチ以外の試料を導入する場合には、直径4インチウエハ等への貼り付けをお願いします。
重量のある試料は取付不能です（落下の恐れがあります）。
試料は水冷（室温）専用で、加熱機構は備えておりませんのでご注意ください。