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スピン現像機

最終更新日2024年8月29日

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用途

フォトレジストの現像処理

仕様

現像方式：スイングノズル方式によるスプレー/パドル現像
チャンバー材質：ステンレス材
薬液搬送：
 

• 薬液1=加圧タンク
• 薬液2=ポンプ
• リンス（純粋）=ポンプ

対応ウェハサイズ：□1inchからφ6inch
ウェハ回転数：0から3,000rpm

 

機器概要

分類

N：半導体製造・MEMS加工

担当部署

電気技術グループ

導入年度

2018

型番

AD-1200

製造者

ミカサ株式会社（滝沢産業株式会社）

対応試験規格

備考

設備はクリーンルーム内にあります。

現像液の持込みについてはご相談ください。

【MEMS関連設備】
以下のウェブページに記載の関連設備をご参照ください。
/research/field/mems/

料金表

設備利用	試験項目	項目コード	適用料金（税込）
			中小	一般
機器利用	（15）スピン現像機 [1時間につき]	S92611	770円	1,140円

03-5530-2560