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触針式薄膜段差計

最終更新日2024年8月29日

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用途

シリコンウエハ等、基板上の段差や表面形状の測定

仕様

垂直方向測定レンジ ： 6.5μm, 65.5μm, 524μm
触針圧 ： 1.0mg から 15mg まで
測定距離（XY） ： 55mm まで
ステージ移動範囲 ： X ±100mm, Y ±100mm （マニュアル移動式）
最大試料寸法 ： φ200mm
最大試料厚さ ： 50mm

機器概要

分類

N：半導体製造・MEMS加工

担当部署

電気技術グループ

導入年度

2019

型番

DekTak XT

製造者

Bruker Japan K.K.

対応試験規格

備考

設備はクリーンルーム内にあります。
発塵の恐れがある試料や汚染されている試料の持ち込みはできません。

【MEMS関連設備】
以下のウェブページに記載の関連設備をご参照ください。
/research/field/mems/

料金表

設備利用	試験項目	項目コード	適用料金（税込）
			中小	一般
機器利用	（18）触針式薄膜段差計 [1時間につき]	S92911	760円	1,680円

03-5530-2560