ナノインプリント装置

最終更新日2024年8月29日

用途

ナノインプリント

仕様

常用使用最高温度：650℃
最大ワークサイズ：直径6インチ
標準ワーク保持：真空吸着（ただし、直径120mm以上のワーク）
荷重力：最大 50kN、最小 100N
真空機構：到達真空度300Pa

機器概要

備考

ライセンス制度対象機器

設備はクリーンルーム内にあります。
直径120mm以下の試料・モールドは真空吸着できないため、離型を手作業で行う必要があります。
ガラス成形を行う場合には加熱・冷却に時間がかかりますのでご注意ください。

【MEMS関連設備】
以下のウェブページに記載の関連設備をご参照ください。
/research/field/mems/

設備利用	試験項目	項目コード	適用料金（税込）
設備利用	試験項目	項目コード	中小	一般
機器利用	（14）ナノインプリント ※ライセンス制度対象機器 [1時間につき]	S92511	1,640円	3,360円