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English 機器利用可能
本部
本部ディスペンサロボット
最終更新日2024年8月29日
用途
接着材、ハンダペースト等のパターンニング塗布、樹脂埋め込み等
仕様
コントローラ
- 吐出方式：エアパルス方式
- 吐出圧設定：5kPa から 200kPa_まで
- 吐出時間設定：9999sec（max）
- バキューム圧設定：0 から -20kPa_まで
ロボット
- 制御軸数：4軸
- 動作範囲：XY軸-200mm、Z軸-100mm、W軸-0 から 360°まで
機器概要
- 分類
- N：半導体製造・MEMS加工
- 担当部署
- 電気技術グループ
- 導入年度
- 2010
- 型番
- SuperΣ CM II / SHOT mini 200Ω
- 製造者
- 武蔵エンジニアリング株式会社
- 対応試験規格
- 備考
塗布材料、シリンジは利用者持込みでお願いします。
【MEMS関連設備】
以下のウェブページに記載の関連設備をご参照ください。
/research/field/mems/
料金表
設備利用'%3e%3cpath%20id='パス_322'%20data-name='パス%20322'%20d='M8,6.666A1.821,1.821,0,0,1,9.943,5H10.5a1.821,1.821,0,0,1,1.943,1.666,1.666,1.666,0,0,1-1.11,1.666,2.313,2.313,0,0,0-1.11,2.221'%20transform='translate(-8%20-5)'%20fill='none'%20stroke='%23324eb3'%20stroke-linecap='round'%20stroke-linejoin='round'%20stroke-width='1.5'/%3e%3cpath%20id='パス_323'%20data-name='パス%20323'%20d='M12,19v.006'%20transform='translate(-9.779%20-11.226)'%20fill='none'%20stroke='%23324eb3'%20stroke-linecap='round'%20stroke-linejoin='round'%20stroke-width='1.5'/%3e%3c/g%3e%3cg%20id='楕円形_100'%20data-name='楕円形%20100'%20transform='translate(2%202)'%20fill='none'%20stroke='%23324eb3'%20stroke-width='1.5'%3e%3ccircle%20cx='10'%20cy='10'%20r='10'%20stroke='none'/%3e%3ccircle%20cx='10'%20cy='10'%20r='9.25'%20fill='none'/%3e%3c/g%3e%3c/svg%3e){kind=small} | 試験項目 | 項目コード | 適用料金（税込） | |
|---|---|---|---|---|
| 中小 | 一般 | |||
| 機器利用 | （3）ディスペンサ ディスペンサロボット [1時間につき] | S91311 | 380円 | 740円 |
03-5530-2560
