【オンデマンド配信】装置動画で学ぶリソグラフィ工程～スピンコート・露光・現像を中心に～

最終更新日：2025年5月21日

申込締切 2025年7月8日(火曜日) 23時59分

開催日: 2025年7月22日(火曜日)から
2025年7月28日(月曜日)まで

時間: 開催期間内であればいつでもご視聴いただけます。

参加費(税込): 1,000円

会場: オンデマンド配信

開催案内: 開催案内[PDF]

技術セミナー・講習会にお申し込む際には、事前に技術支援事業ご利用約款の第1章(総論)、第5章(技術セミナー・講習会)及び第7章(技術セミナー・講習会等のオンラインでの配信)をご確認ください。

開催概要

半導体・MEMS センサや、光回折格⼦、マイクロ流路チップなどにみられる微細構造の製造⼯程では、紫外線フォトリソグラフィや、電⼦線リソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィといったナノ～マイクロメートルスケールのパターニング技術が利⽤されています。本オンデマンド配信では、実験室レベルでのリソグラフィ⼯程を当センターの設備で実際に⾏った様⼦の動画を交えながら、⼊⾨知識の解説を⾏います。また、ガラス基板に成膜された⾦属薄膜をウェットエッチングして作る光学回折格⼦の試作⼯程を紹介し、理解を深めていただきます。これから微細加⼯やリソグラフィ技術の知識を深めたいと考えている⽅のご参加をお待ちしております。
※１本配信の内容は、昨年度に配信された「ナノ・マイクロスケールの微細加⼯⼊⾨シリーズ装置動画で学ぶリソグラフィ⼯程～スピンコート・露光・現像を中⼼に～」と同等のものです。
※２本配信の解説は⾳声読み上げソフト使⽤しています。
※３配信動画の著作権は都産技研に帰属します。録⾳・録画はご遠慮ください。

募集要項

応募資格: 原則として、日本の法人の従業員、個人事業主または創業を予定している個人

定員: 20名

申し込み方法: Web申込フォームに所定事項をご記入の上、お申し込みください。

受講の可否: 受講予定者には、請求書およびコンビニ払込書を郵送いたします。定員などの関係で受講をお断りする場合、電話または電子メールでご連絡いたします。

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お問い合わせ先

このセミナーに関するお問い合わせは、下記までご連絡ください。

地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター技術振興室　技術セミナー係

〒135-0064 東京都江東区青海2-4-10
電話: 03-5530-2308
kenshu(at)iri-tokyo.jp　※ (at)を＠に置き換えてください

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