【リアル開催】SEM-EDSによる高分解能観察・分析

走査電子顕微鏡（SEM）は、観察対象物の表面に細く絞った電子線を照射し、反射・発生する電子を検出することによって、微細な表面構造を観察する装置です。特に、電界放出電子銃を搭載したSEM（FE-SEM）ではナノメートルオーダーの空間分解能を得られます。また、エネルギー分散形 X 線分析装置（EDS）を備えたSEMを用いると、観察箇所の定性分析（元素分析）が行えます。さらに、真空隔壁のない、いわゆるウインドウレス型のEDSでは、低エネルギーの特性X線の検出感度が良く、原子番号3のLiから定性分析が可能です。
本技術セミナーではSEM-EDSの測定原理や、試料の作製方法、測定時の留意点など、基礎的な内容から、FE-SEMやウインドウレス型EDSなど最新の技術について講義を行います。その後、講義内容の理解をより深めるため、都産技研で2024年3月に新たに導入したFE-SEMとウインドウレス型EDSを用いて観察・分析操作の実演を行います。SEM-EDSによる観察・元素分析の入門、あるいは再確認の場として、これから利用しようと興味をお持ちの方、既に利用されている方など、皆様のご参加をお待ちしています。

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