FIB-SEM複合装置による腐食部の断面観察と腐食原因調査

1. 任意箇所の断面観察が可能
2. 腐食の原因物質を特定
3. 表面処理の欠陥を明らかに

技術の特徴

1. SEM観察しながら断面作製箇所を決定
2. 任意箇所の断面をミクロ観察や成分分析することが可能 
3. 内部に埋もれた腐食原因物質や表面処理の欠陥の調査に貢献

技術の概要

大気腐食の発生

腐食原因である異物の付着と乾湿の繰り返しにより進行

腐食原因物質またはその痕跡
表面からの観察では腐食生成物がふたをして確認できない

↓

FIBによる断面加工

試料表面にガリウムイオンを照射して削る

↓

断面観察と元素分析

進行する腐食の先端を探して分析
→腐食原因物質に由来する元素を検出

※FIB：集束イオンビーム　SEM：走査電子顕微鏡　SIM：走査イオン顕微鏡

企業へのご提案

金属の腐食でお悩みの方は、ぜひご相談ください。

腐食によるわずかな変色もクレームにつながることがあります。 
腐食の原因物質を特定することで、改善すべき生産プロセスが明らかになります。