分析機能付き走査電子顕微鏡［本部］

分解能： 3 nm（2次電子像、高真空モード）
倍率： 5倍 から 30万倍 まで（実用倍率数万倍程度まで）
分析検出器： エネルギー分散形（SD検出器、液体窒素レスタイプ）
検出可能元素：5B から 92U まで

機器利用ライセンス制度対象機器

機器利用のご案内はこちら [PDFファイル／161KB]

• 材料・製品について、表面形状を観察したり、構成元素を分析したりすることができます。
• 導電性のない試料の観察・分析のため、コーティング装置（金、白金、炭素）を用意しています。
  （低真空モードを用いることで、コーティングなしで観察・分析できる場合もあります）
• 光学顕微鏡に比べて、焦点深度が深いのが特徴です。
• 最大で直径20cmのものまで入れることができる大型試料室を備えています。小さく切断することができない試料にも対応可能です。
• セミナー（3時間）を受けてライセンスを取得した方のみ、ご利用可能です。