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分光エリプソメータ

印刷用ページを表示する 更新日:2020年10月12日更新
設備利用
依頼試験
分類
A:分析・評価:物性測定
対象
 
仕様

波長範囲:370nmから1000nm、回転補償子型、入射角範囲:45から90度(透過配置)

用途
各種材料の光学定数(屈折率n,消衰係数k)および基板上の薄膜の膜厚測定、受託解析
製造者
J.A.Woollam Co.
型番
多入射角高速分光エリプソメーター M-2000V-Te
導入年度
2013
設置場所
本部
グループ
材料技術グループ
試験規格対応
備考

試料からの反射光の偏光特性の実測と光学モデルを用いた解析を組み合わせ膜厚や光学定数を計測します。
サブナノメートルの膜厚にも感度を持つ,非常に高感度な計測が可能です。

  • 電子・光学材料(ガラス、半導体基板、高分子材料など)の屈折率測定
  • 基板上の薄膜の膜厚測定
  • 光を用いた検査・評価装置の開発や光学シミュレーションのためのデータベース作成

などにご活用下さい。

試験ご依頼の際は、ご案内をご一読の上、お問い合わせ・ご依頼下さい。
お問い合わせは、ご案内下部に記載されたメールアドレスまでお願いいたします。

 

【料金算出方法の変更のお知らせ】
平素より分光エリプソメータの試験をご利用頂き,ありがとうございます.
これまで事前に費用が分かりにくかった料金体系をシンプルにするために,
11月より下記の通り変更させて頂きます.
<変更前>
 ・同一モデルは解析点数をおまとめする
 ・異方性解析などの場合,解析点数を別途加算する
<変更後>
 一律 測定1点+解析1点 
今後ともよろしくお願い申し上げます.(2020年10月12日更新)

設備利用料金表
設備利用 分類番号 試験項目 項目コード 中小料金 一般料金
依頼試験 4.1.5. 各種材料等の光学特性計測 1.1. 分光エリプソメータ ⊿-ψ測定及び3入射角 [1測定につき] T415111 3,310円 6,980円
依頼試験 4.1.5. 各種材料等の光学特性計測 1.2. 分光エリプソメータ 基本解析(膜厚又は光学定数) [1測定につき] T415121 4,100円 8,510円

光学素子用エリプソメータ

光学素子用エリプソメータ2

  • 設備・機器に関してのご質問、依頼試験・機器利用のご予定等は、設備場所をご確認のうえ、事業所 連絡先の電話番号にご連絡ください。
  • ご利用方法・ご利用料金は各ページにてご確認下さい。依頼試験のページを見る 機器利用のページを見る
  • 代表的な試験の料金を表示しています。詳しくは試験担当者にお問い合わせください。
  • 企業規模、業種によって料金が異なります。適用料金、支払方法は適用料金の分類をご覧ください。

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