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分光エリプソメータ

最終更新日2025年4月9日

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用途

基板表面、および基板上薄膜の光学定数（屈折率n,消衰係数k）と膜厚解析

例：蒸着膜、コート剤、フォトレジストの屈折率/膜厚評価

仕様

波長範囲:370nmから1000nm、回転補償子型、入射角範囲:45から90度（透過配置）

測定モード：正反射、正透過、偏光解消

機器概要

分類

A：分析・評価：物性測定

担当部署

マテリアル技術グループ

導入年度

2013

型番

多入射角高速分光エリプソメーター M-2000V-Te

製造者

J.A.Woollam Co.

対応試験規格

備考

試料からの反射光の偏光特性の実測と光学モデルを用いた解析を組み合わせ膜厚や光学定数を計測します。
サブナノメートルの膜厚にも感度を持つ,非常に高感度な計測が可能です。

• 電子・光学材料（ガラス、半導体基板、高分子材料など）の屈折率測定
• 基板上の薄膜の膜厚測定
• 光を用いた検査・評価装置の開発や光学シミュレーションのためのデータベース作成

などにご活用下さい。

試験ご依頼の際は、ご案内をご一読の上、お問い合わせ・ご依頼下さい。
お問い合わせは、ご案内下部に記載されたメールアドレスまでお願いいたします。

 

【料金算出方法の変更のお知らせ】
平素より分光エリプソメータの試験をご利用頂き，ありがとうございます．
これまで事前に費用が分かりにくかった料金体系をシンプルにするために，
11月より下記の通り変更させて頂きます．
<変更前>
　・同一モデルは解析点数をおまとめする
　・異方性解析などの場合，解析点数を別途加算する
<変更後>
　一律　測定1点＋解析1点　
今後ともよろしくお願い申し上げます．(2020年10月12日更新)

料金表

設備利用	試験項目	項目コード	適用料金（税込）
			中小	一般
依頼試験	（5）各種材料等の光学特性計測 分光エリプソメータ ⊿-ψ測定及び3入射角 [1測定につき]	T415111	3,310円	7,460円
依頼試験	（5）各種材料等の光学特性計測 分光エリプソメータ 基本解析（膜厚又は光学定数） [1測定につき]	T415121	4,100円	8,950円

03-5530-2660