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レーザ干渉計

印刷用ページを表示する 更新日:2021年8月6日更新
設備利用
依頼試験
分類
G:形状計測・カメラ:寸法・形状計測
対象
 
仕様

高性能・多機能縦型ワークステーション
光源:633nm He-Neレーザ
Z軸ストローク:850mm
垂直分解能:0.08nm
横方向分解能:外径/900ピクセル
測定物サイズ:φ1mm からφ130mm まで

用途
平面、球面、非球面及び曲率半径の測定をレーザーによって非接触・高精度で評価する
製造者
Zygo Corporation
型番
VeriFire Asphere
導入年度
2011
設置場所
本部
グループ
実証試験技術グループ
試験規格対応
備考
設備利用料金表
設備利用 分類番号 試験項目 項目コード 中小料金 一般料金
依頼試験 15.1.1. 長さ測定 レーザー干渉計による [1測定につき] TF11511 4,360円 9,260円
依頼試験 15.1.1. 長さ測定 レーザー干渉計による 非球面試料 [1測定につき] TF11521 7,080円 14,020円

レーザ干渉計

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