本部

レーザ干渉計

最終更新日2026年3月29日

レーザ干渉計の外観

用途

平面、球面、非球面及び曲率半径の測定をレーザーによって非接触・高精度で評価する

仕様

高性能・多機能縦型ワークステーション
光源:633nm He-Neレーザ
Z軸ストローク:850mm
垂直分解能:0.08nm
横方向分解能:外径/900ピクセル
測定物サイズ:φ1mm からφ130mm まで

機器概要

分類
G:形状計測・カメラ:寸法・形状計測
担当部署
物理計測技術グループ
導入年度
2011
型番
VeriFire Asphere
製造者
Zygo Corporation

料金表

設備利用
試験項目項目コード 適用料金(税込)
中小一般
依頼試験(1)長さ測定 レーザー干渉計による [1測定につき] TF115114,360円9,260円
依頼試験(1)長さ測定 レーザー干渉計による 非球面試料 [1測定につき] TF115217,080円14,020円
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