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レーザ干渉計

印刷用ページを表示する 更新日:2021年8月6日更新
設備利用
依頼試験
分類
G:形状計測・カメラ:寸法・形状計測
対象
 
仕様

高性能・多機能縦型ワークステーション
光源:633nm He-Neレーザ
Z軸ストローク:850mm
垂直分解能:0.08nm
横方向分解能:外径/900ピクセル
測定物サイズ:φ1mm からφ130mm まで

用途
平面、球面、非球面及び曲率半径の測定をレーザーによって非接触・高精度で評価する
製造者
Zygo Corporation
型番
VeriFire Asphere
導入年度
2011
設置場所
本部
グループ
実証試験技術グループ
試験規格対応
備考
設備利用料金表
設備利用 分類番号 試験項目 項目コード 中小料金 一般料金
依頼試験 15.1.1. 長さ測定 5.1. レーザー干渉計による [1測定につき] TF11511 3,930円 8,460円
依頼試験 15.1.1. 長さ測定 5.2. レーザー干渉計による 非球面試料 [1測定につき] TF11521 6,360円 12,560円

レーザ干渉計

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