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レーザ干渉計

印刷用ページを表示する 更新日:2021年8月6日更新
設備利用
依頼試験
分類
G:形状計測・カメラ:寸法・形状計測
対象
 
仕様

高性能・多機能縦型ワークステーション
光源:633nm He-Neレーザ
Z軸ストローク:850mm
垂直分解能:0.08nm
横方向分解能:外径/900ピクセル
測定物サイズ:φ1mm からφ130mm まで

用途
平面、球面、非球面及び曲率半径の測定をレーザーによって非接触・高精度で評価する
製造者
Zygo Corporation
型番
VeriFire Asphere
導入年度
2011
設置場所
本部
グループ
組織変更に伴う更新作業中となります。
試験規格対応
備考
料金表については料金改定に伴う更新作業中となります。
ご迷惑をおかけいたしますが、ご理解のほどよろしくお願いいたします。
ご利用料金につきましては、機器利用一覧(料金表)依頼試験一覧(料金表)をご覧ください。

レーザ干渉計

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