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三次元表面形状測定機[実証試験技術G]

印刷用ページを表示する 更新日:2021年8月6日更新
設備利用
依頼試験
分類
G:形状計測・カメラ:寸法・形状計測
対象
 
仕様

走査型白色干渉法

準拠規格:ISO 25178

測定傾斜角度:

  • 55°(鏡面)
  • 86°(散乱面)

試料サイズ:W300×D300×H89 mm

用途
加工品等の段差、傾き、表面粗さなどの表面形状を走査型白色干渉法から非接触・高精度で評価する
製造者
Zygo Corporation
型番
Nexview
導入年度
2015
設置場所
本部
グループ
実証試験技術グループ
試験規格対応
備考
設備利用料金表
設備利用 分類番号 試験項目 項目コード 中小料金 一般料金
依頼試験 15.1.2. 形状等の測定 4.1. 白色干渉計による 1ショット測定 [1測定につき] TF12411 3,380円 5,800円
依頼試験 15.1.2. 形状等の測定 4.2. 白色干渉計による スティッチング(繋ぎ合わせ)(25ショット以内又は100μm以下のもの) [1測定につき] TF12421 5,090円 8,120円
依頼試験 15.1.2. 形状等の測定 4.2. 白色干渉計による スティッチング(繋ぎ合わせ)(同一条件での追加) [25ショット又は100μmにつき] TF12422 1,050円 1,510円
依頼試験 15.1.2. 形状等の測定 4.3. 白色干渉計による (同一測定での追加解析) [1解析につき] TF12431 810円 1,160円

三次元表面形状測定機

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