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三次元表面形状測定機［実証試験技術G］
印刷用ページを表示する 更新日：2021年8月6日更新
- 分類
- G：形状計測・カメラ：寸法・形状計測
- 対象
- 仕様
走査型白色干渉法
準拠規格：ISO 25178
測定傾斜角度：
- 55°（鏡面）
- 86°（散乱面）
試料サイズ：W300×D300×H89 mm
- 用途
- 加工品等の段差、傾き、表面粗さなどの表面形状を走査型白色干渉法から非接触・高精度で評価する
- 製造者
- Zygo Corporation
- 型番
- Nexview
- 導入年度
- 2015
- 設置場所
- 本部
- グループ
- 実証試験技術グループ
- 試験規格対応
- 備考
| 設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
|---|---|---|---|---|---|
| 依頼試験 | 15.1.2. | 形状等の測定 4.1. 白色干渉計による 1ショット測定 [1測定につき] | TF12411 | 3,380円 | 6,430円 |
| 依頼試験 | 15.1.2. | 形状等の測定 4.2. 白色干渉計による スティッチング(繋ぎ合わせ）（25ショット以内又は100μm以下のもの） [1測定につき] | TF12421 | 5,740円 | 9,630円 |
| 依頼試験 | 15.1.2. | 形状等の測定 4.2. 白色干渉計による スティッチング(繋ぎ合わせ）（同一条件での追加） [25ショット又は100μmにつき] | TF12422 | 1,300円 | 2,080円 |
| 依頼試験 | 15.1.2. | 形状等の測定 4.3. 白色干渉計による （同一測定での追加解析） [1解析につき] | TF12431 | 810円 | 1,320円 |
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