分析機能付き走査電子顕微鏡［本部］

最終更新日2025年4月21日

用途

微小部分観察、元素分析

仕様

分解能： 3 nm（2次電子像、高真空モード）
倍率： 5倍から 30万倍まで（実用倍率数万倍程度まで）
分析検出器：エネルギー分散形（SD検出器、液体窒素レスタイプ）
検出可能元素：5B から 92U まで

機器概要

備考

機器利用ライセンス制度対象機器となります。セミナー（3時間）を受けてライセンスを取得した方のみ、ご利用可能です（機器利用のご案内はこちら [PDF]）。
※受講にあたり、MicrosoftのWindowsとWordの基本的な操作ができる事が必須事項となります。
セミナーは毎週１回、9時～12時、または13時～16時に開催しています（曜日不定）。1日に受講可能な人数は1名です。受付は先着順です。
材料・製品について、表面形状を観察したり、構成元素を分析したりすることができます。
導電性のない試料の観察・分析のため、コーティング装置（金・白金・炭素）を用意しています。
（低真空モードを用いることで、コーティングなしで観察・分析できる場合もあります）
光学顕微鏡に比べて、焦点深度が深いのが特徴です。
試料移動範囲
　X方向：125 mm
　Y方向：100 mm
　Z方向：ユーセントリック面移動範囲　WD5～80 mm
　傾斜：-10～+90度（試料ホルダのサイズにより傾斜制限が異なります）
　回転：360度エンドレス
試料台ホルダーは、直径32、51、76 mmの三種類を用意しています。

設備利用	試験項目	項目コード	適用料金（税込）
設備利用	試験項目	項目コード	中小	一般
機器利用	（7）分析機能付き走査電子顕微鏡 ※ライセンス制度対象機器基本料 [1時間につき]	S31711	3,560円	7,130円
機器利用	（7）分析機能付き走査電子顕微鏡 ※ライセンス制度対象機器追加料 [1時間につき]	S31712	1,550円	3,100円
機器利用	（1）機器利用指導 [30分につき]	M11	1,130円	2,260円
機器利用	（3）光学式記録メディア CD又はDVD ＜消耗品＞ [1枚につき]	M3S	50円	50円
依頼試験	（20）走査電子顕微鏡によるもの像の観察 [1試料につき]	T632111	12,460円	18,100円
依頼試験	（20）走査電子顕微鏡によるもの写真撮影 [1撮影につき]	T632121	2,890円	4,410円
依頼試験	（20）走査電子顕微鏡によるもの定性分析エネルギー分散型分光器によるもの [1測定点につき]	T632211	9,100円	13,610円
依頼試験	（20）走査電子顕微鏡によるもの線分析又は面分析エネルギー分散型分光器によるもの [1測定につき]	T632311	14,960円	26,000円