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English 機器利用可能
多摩テクノプラザ
多摩テクノプラザ三次元表面形状測定機［複合素材技術G］
最終更新日2024年8月29日
用途
顕微鏡タイプの非接触表面形状測定機。走査型白色干渉法（SWLI）と周波数領域解析（FDA）を組み合わせた測定アルゴリズムによって、垂直分解能0.1nmの測定が可能
仕様
水平分解能：0.52μmから3.80μmまで
観察視野：0.11×0.14mm から 2.10×2.81mmまで
垂直測定範囲：150μm未満
機器概要
- 分類
- G：形状計測・カメラ：寸法・形状計測
- 担当部署
- 複合素材技術グループ
- 導入年度
- 2009
- 型番
- New view 600s
- 製造者
- Zygo
- 対応試験規格
- 備考
ライセンス制度対象機器
初めて機器利用される場合は利用方法習得セミナーを受講し、ライセンスを取得してください。※2022年4月時点、利用方法習得セミナーは中止しております。
料金表
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|---|---|---|---|---|
| 中小 | 一般 | |||
| 機器利用 | （6）走査型白色干渉測定機 ※ライセンス制度対象機器 [1時間につき] | SC1611 | 1,030円 | 2,070円 |
042-500-1290
