マイクロフォーカスX線CT装置

マイクロフォーカスX線発生装置と300万画素のフラットパネル検出器を搭載した縦照射型X線検査装置です。 斜めCTタイプですので、薄い平たい電子基板でも高倍率でCT撮影が可能です。 ICパッケージ内部検査、実装済みのプリント基板のはんだ付け検査、セラミック・プラスチック・金属部品のクラック・異物混入などの検査等に有効です。 撮影した画像は、3Dデータのフリービューアソフトでも観察可能です。 ※ROMなどの電気的データが破壊される可能性があるため、データの復元ができないメモリが実装されている場合は注意が必要です。

X線出力：最大管電圧160 kV　最大管電流100 µA　定格出力16 W
搭載可能サイズ：470 mm × 420 mm × 100 mm　最大5 kg
透視検査ストローク：X：460 mm、Y：410 mm、Z：100 mm、回転±180°、傾動：60°
透視空間分解能：1 µm（JIMAチャートを分解）
CT撮影範囲：X：350 mm　Y：350 mm
ラミノ角（CT撮影角度）：45°または60°
検出器：フラットパネル検出器
透視視野（カーボン板上）：（縦）0.75 mm ×（横）1.3 mm～（縦）21 mm ×（横）38 mm
CT視野（カーボン板上）： 3 mm ～ 30 mm（ラミノ角45°時）, 3 mm ～ 14 mm（ラミノ角60°時）
ソフトウェアオプション：VGStudio（3次元画像処理ソフトウェア）