機器利用可能 多摩テクノプラザ

走査電子顕微鏡(簡易型)[複合素材技術G]

最終更新日2024年10月8日

用途

素材や製品の形状観察、表面状態の観察 観察部位の元素分析

仕様

倍率:15倍から100000倍まで(カタログ値)
分解能:8nm(カタログ値)
加速電圧:0.5kVから20kVまで
試料寸法(最大):64mm
電子銃:熱電子銃
観察像:二次電子像
エネルギー分散型X線分光分析装置付属
測定元素:ほう素(B)からウラン(U)まで

機器概要

分類
C:顕微鏡:走査電子顕微鏡
担当部署
複合素材技術グループ
導入年度
2009
型番
VE-9800(走査電子顕微鏡) Apollo 10(シリコンドリフト検出器)
製造者
株式会社キーエンス(走査電子顕微鏡) アメテック株式会社(シリコンドリフト検出器)
対応試験規格
備考

実用的な倍率は10000倍程度までです。
径30mmの試料台に収まらない寸法の試料は、観察や元素分析に制約がでます。

料金表

設備利用

試験項目項目コード 適用料金(税込)

中小一般
機器利用(6)簡易型電子顕微鏡 簡易型電子顕微鏡 [1時間につき] S316111,370円2,990円
機器利用(6)簡易型電子顕微鏡 分析機能付き簡易型電子顕微鏡 [1時間につき] S316211,700円3,400円
依頼試験(20)走査電子顕微鏡によるもの 像の観察 [1試料につき] T63211112,460円18,100円
依頼試験(20)走査電子顕微鏡によるもの 写真撮影 [1撮影につき] T6321212,890円4,410円
依頼試験(20)走査電子顕微鏡によるもの 定性分析 エネルギー分散型分光器によるもの [1測定点につき] T6322119,100円13,610円
依頼試験(20)走査電子顕微鏡によるもの 線分析又は面分析 エネルギー分散型分光器によるもの [1測定につき] T63231114,960円26,000円

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