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English 
本部X線光電子分光分析装置[プロセス技術G]
最終更新日2025年10月23日
X線光電子分光分析装置の外観
用途
試料の極表面（数nm）に存在する元素の種類やその化学結合状態が判別できます。
また、深さ方向の元素分布を知ることができます。
仕様
X線スポットサイズ：7.5µmから200µmまで
エッチング：アルゴンイオン銃
試料サイズ：
① W35×D35×H20mm以内（試料重量 149ｇまで）
② W７５×D75×H12mm以内（試料重量 71ｇまで）
①または②を満たすサイズの試料のみ対応可能です
機器概要
- 分類
- A：分析・評価：機器分析
- 担当部署
- プロセス技術グループ
- 導入年度
- 2024
- 型番
- PHI Genesis
- 製造者
- アルバック・ファイ株式会社
- 対応試験規格
- 備考
料金表
設備利用'%3e%3cpath%20id='パス_322'%20data-name='パス%20322'%20d='M8,6.666A1.821,1.821,0,0,1,9.943,5H10.5a1.821,1.821,0,0,1,1.943,1.666,1.666,1.666,0,0,1-1.11,1.666,2.313,2.313,0,0,0-1.11,2.221'%20transform='translate(-8%20-5)'%20fill='none'%20stroke='%23324eb3'%20stroke-linecap='round'%20stroke-linejoin='round'%20stroke-width='1.5'/%3e%3cpath%20id='パス_323'%20data-name='パス%20323'%20d='M12,19v.006'%20transform='translate(-9.779%20-11.226)'%20fill='none'%20stroke='%23324eb3'%20stroke-linecap='round'%20stroke-linejoin='round'%20stroke-width='1.5'/%3e%3c/g%3e%3cg%20id='楕円形_100'%20data-name='楕円形%20100'%20transform='translate(2%202)'%20fill='none'%20stroke='%23324eb3'%20stroke-width='1.5'%3e%3ccircle%20cx='10'%20cy='10'%20r='10'%20stroke='none'/%3e%3ccircle%20cx='10'%20cy='10'%20r='9.25'%20fill='none'/%3e%3c/g%3e%3c/svg%3e){kind=small} | 試験項目 | 項目コード | 適用料金（税込） | |
|---|---|---|---|---|
| 中小 | 一般 | |||
| 依頼試験 | （22）エックス線光電子分光分析装置によるもの ワイドスキャン測定 [1測定につき] | T634111 | 17,900円 | 34,950円 |
| 依頼試験 | （22）エックス線光電子分光分析装置によるもの ナロースキャン測定 [1試料1時間につき] | T634211 | 18,950円 | 35,060円 |
| 依頼試験 | （22）エックス線光電子分光分析装置によるもの ナロースキャン測定 （同一試料の追加） [1時間につき] | T634212 | 6,140円 | 12,280円 |
| 依頼試験 | （22）エックス線光電子分光分析装置によるもの 深さ方向分析 [1試料1時間につき] | T634311 | 22,060円 | 40,530円 |
| 依頼試験 | （22）エックス線光電子分光分析装置によるもの 深さ方向分析 （同一試料の追加） [1時間につき] | T634312 | 6,140円 | 12,280円 |
| 依頼試験 | （22）エックス線光電子分光分析装置によるもの 面分析又は線分析 [1試料1時間につき] | T634411 | 18,950円 | 34,970円 |
| 依頼試験 | （22）エックス線光電子分光分析装置によるもの 面分析又は線分析 （同一試料の追加） [1時間につき] | T634412 | 7,260円 | 14,540円 |
03-5530-2630
