電界放出形走査電子顕微鏡[本部]
最終更新日2025年3月11日

用途
微小部分の観察および分析
仕様
電子銃:冷陰極電界放出形電子銃
分解能:0.6 nm(加速電圧 15 kV、WD=4 mm)
倍率:20倍 から 200万倍 まで(実用倍率数十万倍程度)
分析検出器:エネルギー分散形X線分析装置(2台)
分析範囲:
Ultim Max 100 4Beから98Cf
Ultim Extreme 3Liから83Bi まで
試料サイズ:直径76 mm、高さ15 mmまで
試料重量:最大300 g(試料ホルダー、試料台を含めて)
機器概要
- 分類
- C:顕微鏡:走査電子顕微鏡
- 担当部署
- 計測分析技術グループ
- 導入年度
- 2023
- 型番
- SEM: SU8600
EDX: Ultim Max 100, Ultim Extreme
- 製造者
- SEM: 株式会社日立ハイテク
EDX: オックスフォード・インストゥルメンツ
- 対応試験規格
- 備考
【注意事項】
磁性体試料は、対物レンズの磁界で強く吸引され、故障の原因となりますので、本装置では観察できません。
料金表
設備利用 | 試験項目 | 項目コード | 適用料金(税込) | |
---|---|---|---|---|
中小 | 一般 | |||
依頼試験 | (20)走査電子顕微鏡によるもの 像の観察 [1試料につき] | T632111 | 12,460円 | 18,100円 |
依頼試験 | (20)走査電子顕微鏡によるもの 写真撮影 [1撮影につき] | T632121 | 2,890円 | 4,410円 |
依頼試験 | (20)走査電子顕微鏡によるもの 定性分析 エネルギー分散型分光器によるもの [1測定点につき] | T632211 | 9,100円 | 13,610円 |
依頼試験 | (20)走査電子顕微鏡によるもの 線分析又は面分析 エネルギー分散型分光器によるもの [1測定につき] | T632311 | 14,960円 | 26,000円 |