本部

電界放出形走査電子顕微鏡[本部]

最終更新日2025年3月11日

用途

微小部分の観察および分析

仕様

電子銃:冷陰極電界放出形電子銃
分解能:0.6 nm(加速電圧 15 kV、WD=4 mm)
倍率:20倍 から 200万倍 まで(実用倍率数十万倍程度)
分析検出器:エネルギー分散形X線分析装置(2台)
分析範囲:
 Ultim Max 100  4Beから98Cf
 Ultim Extreme  3Liから83Bi まで
試料サイズ:直径76 mm、高さ15 mmまで
試料重量:最大300 g(試料ホルダー、試料台を含めて)

機器概要

分類
C:顕微鏡:走査電子顕微鏡
担当部署
計測分析技術グループ
導入年度
2023
型番
SEM: SU8600
EDX: Ultim Max 100, Ultim Extreme
製造者
SEM: 株式会社日立ハイテク
EDX: オックスフォード・インストゥルメンツ
対応試験規格
備考

【注意事項】

磁性体試料は、対物レンズの磁界で強く吸引され、故障の原因となりますので、本装置では観察できません。

料金表

設備利用

試験項目項目コード 適用料金(税込)

中小一般
依頼試験(20)走査電子顕微鏡によるもの 像の観察 [1試料につき] T63211112,460円18,100円
依頼試験(20)走査電子顕微鏡によるもの 写真撮影 [1撮影につき] T6321212,890円4,410円
依頼試験(20)走査電子顕微鏡によるもの 定性分析 エネルギー分散型分光器によるもの [1測定点につき] T6322119,100円13,610円
依頼試験(20)走査電子顕微鏡によるもの 線分析又は面分析 エネルギー分散型分光器によるもの [1測定につき] T63231114,960円26,000円

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