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English 機器利用可能
本部
本部ミリ波プローブステーション
最終更新日2026年3月29日
ミリ波プローブステーションの中の様子
- 用途
プローブニードルを用いたウエハーや基板のI-V特性測定、高周波特性測定など
- 仕様
150mm(6インチ)マニュアルプローバ
ステージ移動範囲: 155mm×155mm
ステージZ軸調整範囲: 10mm
ステージθ移動範囲: 360°
室温から200℃の温度特性試験(A150ホットチャック(ATT System製)使用時)
機器概要
- 分類
- E：電気計測・電気安全：電気標準・校正、その他
- 担当部署
- IoT通信技術グループ
- 導入年度
- 2017
- 型番
- EPS150MMW
- 製造者
- カスケードマイクロテック
- 備考
プローブニードルおよびそれに適合した校正基板は、お客様がご用意ください。プローブニードルの形状によっては測定エリアが減少する可能性があります。
お客様ご自身で操作可能な機器利用としてご利用いただけます。操作方法がわからない方は担当職員までご相談ください。
料金表
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|---|---|---|---|---|
| 中小 | 一般 | |||
| 機器利用 | （39）ネットワークアナライザ ミリ波プローブステーション [1時間につき] | S85351 | 880円 | 1,770円 |
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