集束イオンビーム（FIB） - 走査電子顕微鏡（SEM）複合装置

FIBによる表面・断面加工
SEMによる像観察・写真撮影
デポジション（炭素、白金、タングステン）
エネルギー分散型X線分光（EDS）測定
電子後方散乱回折（EBSD）測定

FIB: ガリウムイオン銃
SEM: ショットキー電界放出電子銃
EDS(1): Ultim Max Infinity 170　
　　　　　　　検出元素 ₄Be～₉₈Cf
EDS(2): Ultim Extreme Infinity
　　　　　　　検出元素 ₃Li～₈₃Bi
EBSD: Symmetry S3
（EDS、EBSDはともにオックスフォード・インストゥルメンツ株式会社製）
試料サイズ: 直径100 mmまで、高さ30 mmまで
※加工・観察・分析可能な箇所・範囲は試料形状に応じて異なります。