レーザ干渉計
最終更新日2024年8月29日

用途
平面、球面、非球面及び曲率半径の測定をレーザーによって非接触・高精度で評価する
仕様
高性能・多機能縦型ワークステーション
光源:633nm He-Neレーザ
Z軸ストローク:850mm
垂直分解能:0.08nm
横方向分解能:外径/900ピクセル
測定物サイズ:φ1mm からφ130mm まで
機器概要
- 分類
- G:形状計測・カメラ:寸法・形状計測
- 担当部署
- 実証試験技術グループ
- 導入年度
- 2011
- 型番
- VeriFire Asphere
- 製造者
- Zygo Corporation
- 対応試験規格
- 備考
料金表
設備利用 | 試験項目 | 項目コード | 適用料金(税込) | |
---|---|---|---|---|
中小 | 一般 | |||
依頼試験 | (1)長さ測定 レーザー干渉計による [1測定につき] | TF11511 | 4,360円 | 9,260円 |
依頼試験 | (1)長さ測定 レーザー干渉計による 非球面試料 [1測定につき] | TF11521 | 7,080円 | 14,020円 |