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English 
本部集束イオンビーム - 走査電子顕微鏡（FIB-SEM）複合装置
最終更新日2024年9月4日
用途
集束イオンビームによる表面微細加工、断面加工、デポジション（炭素、白金） 走査電子顕微鏡による像観察・写真撮影 エネルギー分散形X線分光器による定性分析
仕様
Gaイオン銃、Arイオン銃、ショットキー電界放出電子銃、エネルギー分散形X線分光器付属
試料サイズ：直径150 mm、高さ10 mmまで
機器概要
- 分類
- C：顕微鏡：走査電子顕微鏡
- 担当部署
- 計測分析技術グループ
- 導入年度
- 2011
- 型番
- XVision 200TB
- 製造者
- エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
- 対応試験規格
- 備考
料金表
設備利用'%3e%3cpath%20id='パス_322'%20data-name='パス%20322'%20d='M8,6.666A1.821,1.821,0,0,1,9.943,5H10.5a1.821,1.821,0,0,1,1.943,1.666,1.666,1.666,0,0,1-1.11,1.666,2.313,2.313,0,0,0-1.11,2.221'%20transform='translate(-8%20-5)'%20fill='none'%20stroke='%23324eb3'%20stroke-linecap='round'%20stroke-linejoin='round'%20stroke-width='1.5'/%3e%3cpath%20id='パス_323'%20data-name='パス%20323'%20d='M12,19v.006'%20transform='translate(-9.779%20-11.226)'%20fill='none'%20stroke='%23324eb3'%20stroke-linecap='round'%20stroke-linejoin='round'%20stroke-width='1.5'/%3e%3c/g%3e%3cg%20id='楕円形_100'%20data-name='楕円形%20100'%20transform='translate(2%202)'%20fill='none'%20stroke='%23324eb3'%20stroke-width='1.5'%3e%3ccircle%20cx='10'%20cy='10'%20r='10'%20stroke='none'/%3e%3ccircle%20cx='10'%20cy='10'%20r='9.25'%20fill='none'/%3e%3c/g%3e%3c/svg%3e){kind=small} | 試験項目 | 項目コード | 適用料金（税込） | |
|---|---|---|---|---|
| 中小 | 一般 | |||
| 依頼試験 | （20）走査電子顕微鏡によるもの 像の観察 [1試料につき] | T632111 | 12,460円 | 18,100円 |
| 依頼試験 | （20）走査電子顕微鏡によるもの 写真撮影 [1撮影につき] | T632121 | 2,890円 | 4,410円 |
| 依頼試験 | （20）走査電子顕微鏡によるもの 定性分析 エネルギー分散型分光器によるもの [1測定点につき] | T632211 | 9,100円 | 13,610円 |
| 依頼試験 | （20）走査電子顕微鏡によるもの 線分析又は面分析 エネルギー分散型分光器によるもの [1測定につき] | T632311 | 14,960円 | 26,000円 |
| 依頼試験 | （20）走査電子顕微鏡によるもの 試料作製 集束イオンビームによる断面加工 [1箇所1時間につき] | T63241S | 15,970円 | 31,950円 |
| 依頼試験 | （20）走査電子顕微鏡によるもの 試料作製 集束イオンビームによる断面加工（同一箇所の追加） [1時間につき] | T63242S | 9,680円 | 19,370円 |
| 依頼試験 | （21）透過電子顕微鏡によるもの 試料作製 集束イオンビームによる薄片試料の作製 [1箇所1時間につき] | T63342S | 28,290円 | 48,660円 |
| 依頼試験 | （21）透過電子顕微鏡によるもの 試料作製 集束イオンビームによる薄片試料の作製（同一箇所の追加） [1時間につき] | T63343S | 13,580円 | 27,160円 |
03-5530-2646
