走査電子顕微鏡 [計測分析技術G-1]

最終更新日2024年8月29日

用途

微小部分観察、元素分析

仕様

分解能： 3 nm（2次電子像、高真空モード）
倍率： 5倍から 30万倍まで（実用倍率数万倍程度まで）
分析検出器：エネルギー分散形（SD検出器、液体窒素レスタイプ）
検出可能元素：5B から 92U まで

機器概要

備考

機器利用ライセンス制度対象機器

工業材料、製品を損傷することなく、そのままの状態で表面の形状を観察することができます。光学顕微鏡や透過電子顕微鏡に比べて、焦点深度が深いのが特徴です。また、本装置は、エネルギー分散型X線分光器を備えているため、観察部の元素情報についても得ることができます。

設備利用	試験項目	項目コード	適用料金（税込）
設備利用	試験項目	項目コード	中小	一般
機器利用	（7）分析機能付き走査電子顕微鏡 ※ライセンス制度対象機器基本料 [1時間につき]	S31711	3,560円	7,130円
機器利用	（7）分析機能付き走査電子顕微鏡 ※ライセンス制度対象機器追加料 [1時間につき]	S31712	1,550円	3,100円
機器利用	（1）機器利用指導 [30分につき]	M11	1,130円	2,260円
機器利用	（3）光学式記録メディア CD又はDVD ＜消耗品＞ [1枚につき]	M3S	50円	50円
依頼試験	（20）走査電子顕微鏡によるもの像の観察 [1試料につき]	T632111	12,460円	18,100円
依頼試験	（20）走査電子顕微鏡によるもの写真撮影 [1撮影につき]	T632121	2,890円	4,410円
依頼試験	（20）走査電子顕微鏡によるもの定性分析エネルギー分散型分光器によるもの [1測定点につき]	T632211	9,100円	13,610円
依頼試験	（20）走査電子顕微鏡によるもの線分析又は面分析エネルギー分散型分光器によるもの [1測定につき]	T632311	14,960円	26,000円