本部

三次元表面形状測定機[実証試験技術G]

最終更新日2024年9月4日

用途

加工品等の段差、傾き、表面粗さなどの表面形状を走査型白色干渉法から非接触・高精度で評価する

仕様

走査型白色干渉法

準拠規格:ISO 25178

測定傾斜角度:

  • 55°(鏡面)
  • 86°(散乱面)

試料サイズ:W300×D300×H89 mm

機器概要

分類
G:形状計測・カメラ:寸法・形状計測
担当部署
実証試験技術グループ
導入年度
2015
型番
Nexview
製造者
Zygo Corporation
対応試験規格
備考

料金表

設備利用

試験項目項目コード 適用料金(税込)

中小一般
依頼試験(2)形状等の測定 白色干渉計による 1ショット測定 [1測定につき] TF124113,380円6,430円
依頼試験(2)形状等の測定 白色干渉計による スティッチング(繋ぎ合わせ)(25ショット以内又は100μm以下のもの) [1測定につき] TF124215,740円9,630円
依頼試験(2)形状等の測定 白色干渉計による スティッチング(繋ぎ合わせ)(25ショット以内又は100μm以下のもの)(同一条件での追加) [25ショット又は100μmにつき] TF124221,300円2,080円
依頼試験(2)形状等の測定 白色干渉計による スティッチング(繋ぎ合わせ)(25ショット以内又は100μm以下のもの)(同一測定での追加解析) [1解析につき] TF12431810円1,320円

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