9. MEMS関連機器

試験項目項目コード中小料金一般料金
（1）ダイボンダ
エポキシダイボンダ [1時間につき] S91111370円830円
共晶ダイボンダ [1時間につき] S91121560円1,030円
フリップチップボンダ [1時間につき] S911311,280円2,780円
（2）ワイヤボンダ
ウェッジワイヤボンダ [1時間につき] S91211500円990円
アルミ線 ＜材料費＞ [1mにつき] S9122S240円240円
ボールワイヤボンダ [1時間につき] S91231440円930円
金線 ＜材料費＞ [1mにつき] S9124S290円290円
太線ワイヤボンダ [1時間につき] S91251490円1,100円
（3）ディスペンサ
ディスペンサロボット [1時間につき] S91311380円740円
（4）ボンディングテスタ
[1時間につき] S91411490円1,090円
（5）プラズマクリーニングシステム
[1時間につき] S91511840円1,570円
（6）ドライエッチング装置
高速ディープエッチング装置※ライセンス制度対象機器 [1時間につき] S916113,840円7,090円
RIE装置 [1時間につき] S916211,700円3,370円
（7）成膜装置
ECRイオンシャワー装置 [1時間につき] S917111,410円3,010円
（8）紫外線露光装置
両面マスクアライナ [1時間につき] S91811960円1,920円
（9）マスクレス露光装置
[1時間につき] S919112,450円5,120円
（10）スピンコータ
[1時間につき] S92111360円780円
（11）ダイシングソー
ダイシングソー※ライセンス制度対象機器 [1時間につき] S922111,140円2,530円
ハブタイプブレード ＜工具費＞ [1件につき] S9222S6,280円6,280円
リングタイプブレード ＜工具費＞ [1件につき] S9223S4,710円4,710円
洗浄機 [1時間につき] S92241390円680円
テープマウンタ [1時間につき] S92251260円510円
テープマウンタダイシングテープ ＜材料費＞ [1mにつき] S9226S310円310円
UV照射装置 [1時間につき] S92271270円520円
（13）成膜装置
マグネトロンスパッタ※ライセンス制度対象機器 [1時間につき] S924112,710円5,150円
イオンビームスパッタ [1時間につき] S924212,600円5,350円
（14）ナノインプリント
※ライセンス制度対象機器 [1時間につき] S925111,640円3,360円
（15）スピン現像機
[1時間につき] S92611770円1,140円
（16）大気圧プラズマクリーニング装置
[1時間につき] S927111,720円2,430円
（17）放電プラズマ焼結機
[1時間につき] S928113,470円6,940円
（18）触針式薄膜段差計
[1時間につき] S92911760円1,680円
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