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【オンデマンド配信】ナノ・マイクロスケールの微細加工入門シリーズ 装置動画で学ぶリソグラフィ工程

印刷用ページを表示する 公開開始日時:2023年7月6日更新
状態
募集あるいは開催を終了した研修
種別
セミナー
概要
半導体・MEMS(センサデバイス)、微小光学素子(マイクロレンズ、回折格子)、マイクロ流路(細胞チップ)などにみられる微細構造の製造工程では、紫外線フォトリソグラフィや、電子線リソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィといったナノ・マイクロメートルスケールのパターン形成技術が利用されています。
本オンデマンド配信では、動画を交えて当センターの試験設備を用いた実験室レベルでのフォトリソグラフィの工程(レジスト塗布、紫外線露光、現像)を中心に、リソグラフィ技術に関する入門知識を解説します。
事例として、クロム金属膜をウェットエッチングして作る光学回折格子の試作工程を紹介し、理解を深めていただきます。
微細加工技術に携わっている方、これからリソグラフィ技術の知識を深めたいと考えている方、是非ご参加をお待ちしております。
また、9月に「装置動画で学ぶエッチング工程 -ウェットエッチング・ドライエッチング-」を配信する予定です。

開催日時

日付
2023年7月19日水曜日から7月25日火曜日
時間
開催期間内であればいつでもご視聴いただけます。
日数
7日間

会場

会場
オンデマンド配信

募集要項

定員
20名
受講料(消費税込み)
1,000円
お申込・お問い合わせ
地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター 技術振興推進室 技術振興係 
技術セミナー・講習会担当
〒135-0064東京都江東区青海2-4-10 
TEL:03-5530-2308 FAX:03-5530-2318
申込書

お申込み前に「地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター 技術支援事業ご利用約款 第1章 総論および第5章 技術セミナー・講習会」以下URLについてご承諾の上お申込みをお願いします。

 

技術支援事業ご利用約款

 

開催案内

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