【オンデマンド配信】ナノ・マイクロスケールの微細加工入門シリーズ　装置動画で学ぶリソグラフィ工程

半導体・MEMS(センサデバイス)、微小光学素子(マイクロレンズ、回折格子)、マイクロ流路(細胞チップ)などにみられる微細構造の製造工程では、紫外線フォトリソグラフィや、電子線リソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィといったナノ・マイクロメートルスケールのパターン形成技術が利用されています。
本オンデマンド配信では、動画を交えて当センターの試験設備を用いた実験室レベルでのフォトリソグラフィの工程(レジスト塗布、紫外線露光、現像)を中心に、リソグラフィ技術に関する入門知識を解説します。
事例として、クロム金属膜をウェットエッチングして作る光学回折格子の試作工程を紹介し、理解を深めていただきます。
微細加工技術に携わっている方、これからリソグラフィ技術の知識を深めたいと考えている方、是非ご参加をお待ちしております。
また、9月に「装置動画で学ぶエッチング工程 －ウェットエッチング・ドライエッチング－」を配信する予定です。

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