UV波長域用偏光素子の開発支援

テーマ

評価，観察，試作の一元的支援

素子の機能・目的に沿った評価の実施、100nm以下のナノ構造の観察，機器利用による試作など製品の開発フェーズにあった支援を受けた。

利用事業

• 期間：2019年2月から継続中（2025年3月時点）
• 担当部署：マテリアル技術グループ、城南支所、電気技術グループ

技術相談

• 2019年2月：光学素子の評価方法に関する相談

オーダーメード型技術支援

• 2019年7月から継続中（2025年3月時点）：偏光素子の光学的な機能の評価

依頼試験

• 2020年4月から継続中（2025年3月時点）：走査電子顕微鏡による構造の観察

機器利用

• 2024年4月から継続中（2025年3月時点）：試作・改良のための半導体製造装置の活用