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電気電子技術グループ(MEMS)故障による運用休止のお知らせ

印刷用ページを表示する 更新日:2019年11月5日更新

設備故障に伴い、下記装置についての運用を休止いたします。

高速熱処理装置

現時点では、修理・復旧の予定は未定です。

ご利用中のお客様には大変ご不便をおかけしますが、何卒ご理解くださいますよう、お願い申し上げます。

お問い合わせ先

電気電子技術グループ TEL:03-5530-2560


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