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大気圧プラズマクリーニング装置
印刷用ページを表示する 更新日：2021年8月5日更新
- 分類
- N：半導体製造・MEMS加工
- 対象
- 仕様
ガス種：O2、Ar
ワークテーブル：200×200mm
照射有効幅：約8mm（反応管内径：5mm）
大気中で酸素プラズマを照射可能- 用途
- プラスチック、金属などの表面改質（密着性改善、ぬれ性向上）
- 製造者
- 松下電工マシンアンドビジョン
- 型番
- ANUCL13S-407-MFN
- 導入年度
- 2004
- 設置場所
- 本部
- グループ
- 電気技術グループ
- 試験規格対応
- 備考
| 設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
|---|---|---|---|---|---|
| 機器利用 | 9.16. | 大気圧プラズマクリーニング装置 [1時間につき] | S92711 | 1,720円 | 2,430円 |
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