[{"data":1,"prerenderedAt":50},["Reactive",2],{"uCk1brRFz8":3},{"errors":4,"messages":5,"details":6},[],[],{"topics_id":7,"contents_type":8,"subject":9,"topics_flg":10,"open_flg":10,"regular_flg":11,"inst_ymdhi":12,"update_ymdhi":13,"topics_group_id":14,"slug":15,"order_no":11,"group_nm":16,"group_description":17,"contents_type_cnt":10,"contents_type_nm":18,"contents_type_slug":19,"contents_type_parent_nm":20,"category_parent_id":20,"contents_type_ext_col_01":17,"contents_type_ext_col_02":17,"contents_type_ext_col_03":17,"contents_type_ext_col_04":17,"contents_type_ext_col_05":17,"contents_type_list":21,"category":22,"status":25,"description":28,"keywords":29,"deadline":30,"start_date":31,"end_date":32,"opening_hours":33,"thumbnail":34,"entrance_fee_type":35,"price":38,"venue":39,"organizer_icon":40,"organizer_name":17,"sponsorship":17,"event_info":43,"outline":44,"eligibility":45,"capacity":46,"apply":47,"acceptance":17,"form_url":48,"contact":49},4871,143,"【オンデマンド配信・オンライン決済】実験動画で学ぶエッチング工程～ウェットエッチング・ドライエッチング～",1,0,"2025-11-11T16:21:55+09:00","2026-07-01T09:40:05+09:00",29,"seminar-260701-1","○技術セミナー・講習会詳細","","お客様支援室技術セミナー係","category-seminar",null,[8],{"key":23,"label":24},"seminar","セミナー",{"key":26,"label":27},"accepting","申込受付中","反応性イオンエッチング等のドライエッチング技術、特殊な微細形状を安価に得られる単結晶シリコン結晶軸異方性ウェットエッチング技術について実験室レベルの工程を紹介します。","エッチング工程,ウェットエッチング,ドライエッチング,MEMS,微細加工","2026-08-25T16:00:00+09:00","2026-07-01","2026-09-30","開始日の10:00から終了日の23:59まで",{},{"key":36,"label":37},"fee","有料","1,000円","\u003Cp>オンデマンド配信(オンライン決済対応)\u003C/p>",{"key":41,"label":42},"headquarters","本部","\u003Cp>\u003Ca href=\"https://atch.iri-tokyo.jp/files/user/attachment/2026/client_services_office/technical_seminar_services/260701_ol_etching1.pdf\">\u003Cstrong>開催案内[PDF]\u003C/strong>\u003C/a>\u003Cbr>\u003Cbr>お申し込みの際には、「\u003Ca href=\"https://www.iri-tokyo.jp/seminar-event/\">\u003Cstrong>技術セミナー・講習会\u003C/strong>\u003C/a>」ページ内の「\u003Cstrong>技術セミナー・講習会及び課題解決型研修事業ご利用約款\u003C/strong>」でご確認ください。\u003C/p>","\u003Cp>半導体・MEMSセンサや、光学素子、マイクロ流路等にみられるナノ～マイクロメートルスケールの3次元デバイスの製造工程では、半導体加工技術を応用したシリコンウェハ等の微細加工が行われております。本オンデマンド配信では、反応性イオンエッチング (RIE) やシリコン深堀エッチング等のドライエッチング技術、特殊な微細形状を安価に得られる単結晶シリコン結晶軸異方性ウェットエッチング技術について、実験室レベルの工程を紹介します。また、片持ち梁アクチュエータ加工事例を紹介し、加工の流れについても理解を深めていただきます。これから微細加工やエッチング技術の知識を深めたいと考えている方のご参加をお待ちしております。\u003Cbr>※１ 本配信の内容は、昨年度に配信された「ナノ・マイクロスケールの微細加工入門シリーズ 実験動画で学ぶエッチング工程 ～ウェットエッチング・ドライエッチング～」と同等のものです。\u003Cbr>※２ 配信動画の著作権は都産技研に帰属します。録音・録画はご遠慮ください。\u003Cbr>※3 動画の解説には、音声読み上げソフトを使用します。\u003C/p>\u003Cfigure class=\"image image-style-align-center image_resized\" style=\"width:40.13%;\">\u003Cimg style=\"aspect-ratio:1846/1325;\" src=\"https://atch.iri-tokyo.jp/files/user/attachment/2026/client_services_office/technical_seminar_services/image_etching.jpg\" alt=\"片持ち梁機構\" width=\"1846\" height=\"1325\">\u003C/figure>","●原則、日本で設立登記された法人、個人事業主または創業を予定している個人 \r\n●国の行政機関、地方公共団体、独立行政法人等その他これらに準ずる公的機関","なし","「アカウント登録はこちら」から都産技研オンデマンド配信サイトにアクセスしてアカウントを登録した後、ご視聴を希望する動画を選択し、受講料の支払い手続きを行ってください。アカウント登録は承認制です。承認または不承認の判断は、原則としてアカウント登録の申請時から8営業日以内に行います(迅速に対応するように努めます)。",{},"\u003Ch2>アカウント登録はこちら\u003C/h2>\u003Cfigure class=\"image image-style-align-center image_resized\" style=\"width:50.36%;\">\u003Ca href=\"https://one-stream.io/user/rdtRoGlHYvRbPf07V6YQadwYG4a2\">\u003Cimg style=\"aspect-ratio:1199/257;\" src=\"https://atch.iri-tokyo.jp/files/user/attachment/2025/technical_seminars/image/%E3%82%AA%E3%83%B3%E3%83%87%E3%83%9E%E3%83%B3%E3%83%89%E9%85%8D%E4%BF%A1%E3%82%B5%E3%82%A4%E3%83%88.png\" width=\"1199\" height=\"257\">\u003C/a>\u003C/figure>\u003Cp style=\"text-align:center;\">（外部サイト）\u003C/p>\u003Ch2>受講料のお支払いについて\u003C/h2>\u003Cp>本オンデマンド配信は「オンライン決済」に対応しています。\u003Cbr>都産技研オンデマンド配信サイトの各動画の視聴ページから、オンラインで受講料の支払い手続きを行ってください。\u003Cbr>クレジットカード払いの場合、受講料の支払い手続き後、すぐに動画を視聴できます。\u003Cbr>銀行振込の場合、受講料の入金確認には最大2営業日かかり、視聴権限の付与にはさらに日数を要す場合があります。\u003C/p>\u003Ch2>お問い合わせ先\u003C/h2>\u003Cp>\u003Cspan style=\"white-space:pre-wrap;\">この技術セミナー・講習会に関するお問い合わせは、下記までご連絡ください。\u003C/span>\u003C/p>\u003Ch3>\u003Cspan style=\"white-space:pre-wrap;\">\u003Cstrong>地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター お客様支援室 技術セミナー係\u003C/strong>\u003C/span>\u003C/h3>\u003Cul>\u003Cli>\u003Cspan style=\"white-space:pre-wrap;\">〒135-0064 東京都江東区青海2-4-10\u003C/span>\u003C/li>\u003Cli>\u003Cspan style=\"white-space:pre-wrap;\">電話: \u003Cstrong>03-5530-2308\u003C/strong>\u003C/span>\u003C/li>\u003Cli>\u003Cspan style=\"white-space:pre-wrap;\">\u003Cstrong>メール: kenshu(at)iri-tokyo.jp　※ (at)を＠に置き換えてください\u003C/strong>\u003C/span>\u003C/li>\u003C/ul>",1782918809843]