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先端計測加工ラボ1

印刷用ページを表示する 更新日:2016年12月19日更新

先端計測加工ラボ第一室では、寸法計測、表面の粗さ、材料の硬さや、金属および無機・有機材料の分析、表面および破断面の観察・分析に対応します。

主な設備・機器

三次元デジタイザ

  • 自由曲面全体を一括測定し、三次元CADデータと照合する方法で、金型の修正や品質管理の省力化に利用
  • ガスタービン関連の精密鋳造品やインプラント等の精細な製品の検査にも対応可能

高精度三次元座標測定機

  • 微細形状を有する医療機器の寸法計測や航空機内装品、工具などの微細形状を有する製品の寸法計測

分析機能付き走査電子顕微鏡

  • 医工連携分野ではセラミックス系やプラスチック系の絶縁物質、航空産業支援分野では炭素繊維強化プラスチック(CFRP)やガラス繊維強化プラスチック(GFRP)等の樹脂との複合材料などを前処理無しで観察することが可能です
  • 表面改質・材料・破損等についても、三次元計測および三次元観察、CCDカメラによる画像情報の取得等の機能を備えています

走査電子顕微鏡

  • 電子源:タングステンヘアピンフィラメント
  • 分解能:3 nm(加速電圧 30kV、WD=5mm、高真空モード)
  • 倍率:5倍~30万倍(実用倍率数万倍程度)
  • 真空度:高真空、低真空(6~270Pa)の2モード
  • 分析検出器:エネルギー分散型X線分析装置
  • 分析範囲:5B~92U
  • 試料サイズ:最大127mm(直径)

高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

  • 電子銃:冷陰極電界放出形電子銃
  • 分解能:1 nm(加速電圧 15kV、WD=4mm)
  • 倍率:20倍~80万倍(実用倍率数十万倍程度)
  • 分析検出器:エネルギー分散型X線分析装置
  • 分析範囲:5B~92U
  • 試料サイズ:最大32mm(直径)

 オージェ電子分光分析装置

  • 金属材料、メッキ品等の極表面の元素分析が可能です
  • 変色品と正常品の違いをみる試験を行います
  • 分析深さ 約1nm
  • 分析元素 リチウム~ウラン

エックス線光電子分光分析装置

  • 固体表面の元素分析
  • 金属だけでなく、ガラスやプラスチックの分析も可能
  • 分析深さ数ナノメートル、マッピングや深さ方向分析もできます

マイクロハイスコープ(実体顕微鏡)

  • 微細・微小部の拡大観察、寸法・角度・面積等の測定
  • 最高倍率 3000倍
  • 測定機能 距離、面積、角度、半径など
  • 画像保存媒体USBメモリCD-R/RW

表面粗さ測定機

  • 製品や部品の仕上げ面等の状態を評価
  • 測定方式 触針(R2μm)式
  • 最大測定長 100mm
  • 測定パラメータ JIS・DIN規定の各種パラメータ

非接触式三次元寸法測定機

  • 試料表面の拡大観察において3次元形状の表示
  • 試料表面の電子像を撮影
  • 歯車測定と歯車測定規格(JIS、JGMA、ISO、DIN)の解析
  • 形状、表面粗さ、寸法測定の解析

 超微小押し込み硬さ試験機

  • 極表層(1 µm以下)の局部硬さやヤング率、変形挙動の測定。航空機、医療機器等で用いられる表面改質層や薄膜等の先端材料開発、および性能評価に利用可能。

 


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