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N:半導体製造・MEMS加工

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  • 100kV電子ビーム描画装置

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    回折格子やモスアイなどナノメートル単位のパターニング
    依頼試験でない機器利用
  • 3次元CO2レーザーマーカ

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    樹脂部品へのマーキング、くり貫き加工。石英基板へのマーキング
    依頼試験でない機器利用
  • 3次元YVO4レーザーマーカ

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    シリコン基板、金属部品または樹脂部品へのマーキング、金属薄板のくり貫き加工
    依頼試験でない機器利用
  • ECRイオンシャワー装置

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    イオンエッチング、イオンミリング、イオンビームスパッタ成膜、イオンミキシングスパッタ成膜
    依頼試験でない機器利用
  • ECR成膜装置

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    イオンビームスパッタ成膜
    依頼試験でない機器利用
  • RIE装置

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    耐プラズマ試験、アッシング、基板表面処理、ドライエッチング
    依頼試験でない機器利用
  • ウェッジワイヤボンダ

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    ワイヤ(Au、アルミ)及びリボン(Au)によるチップ部品の配線
    依頼試験でない機器利用
  • エポキシダイボンダ

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    接着材(導電性ペースト、絶縁性ペースト)によるチップ部品の実装
    依頼試験でない機器利用
  • サブフェムトインクジェット加工装置

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    機能性材料、金属材料等の液体を高精度パターンで塗布
    依頼試験でない機器利用
  • ダイシングソー

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    シリコンウエハおよびガラス基板(厚さ1mm以下)の切断加工
    依頼試験でない機器利用
  • ディスペンサロボット

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    接着材、ハンダペースト等のパターンニング塗布、樹脂埋め込み等
    依頼試験でない機器利用
  • ナノインプリント装置

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    ナノインプリント
    依頼試験でない機器利用
  • ナノサーチ顕微鏡[電気電子技術G]

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    ナノ構造・ナノパターンの寸法計測(AFM機能)、マイクロ構造観察(LSM機能)
    依頼試験でない機器利用
  • フリップチップボンダ

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    チップ部品と基板のバンプ接合
    依頼試験でない機器利用
  • プラズマクリーニングシステム

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    有機物、無機物の汚れを表面プラズマ洗浄により除去。接着性改善。
    依頼試験でない機器利用
  • ボールワイヤボンダ

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    ワイヤ(Au線)によるチップ部品の配線、及びバンプ形成
    依頼試験でない機器利用
  • ボンディングテスタ

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    ワイヤ、バンプ等の引張強度、シェア強度の測定
    依頼試験でない機器利用
  • マグネトロンスパッタ

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    セラミクス材料(絶縁物)の成膜、ならびにCr、Cuの成膜
    依頼試験でない機器利用
  • マスクレス露光装置

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    フォトリソグラフィ、マスク作製、グレースケール露光
    依頼試験でない機器利用
  • 共晶ダイボンダ

    設置場所
    本部
    電気電子技術グループ
    用途
    共晶材(AuSn等)によるチップ部品の実装
    依頼試験でない機器利用

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