レーザー顕微鏡

光源：バイオレット半導体レーザ
観察倍率：200・400・1000・2000倍（6倍までのズーム機能あり）

試料の表面をレーザで走査し、反射光量をもとに画像を作ります。焦点の合った点が最も反射光量が多く、1つの面において最も反射光量が多い点についての画像情報をZ軸方向に合成することにより、全体として焦点深度の深い画像を得ることができます。
視野範囲が必要とする領域に足らない場合には、画像連結機能により複数の画像を合成し、一枚の画像データとして扱うことができます。本装置には電動ステージが付属しており自動での画像連結（最大400枚）が可能です。
取得したデータに基づき多種多様な測定（形状・粗さ・体積・表面積・透明体厚みなど）が可能です。計測は画像を見ながら任意の箇所について行うことができます。