最終更新日：2010年8月19日

紫外線露光装置

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仕様	2.5×2.5 インチマスク、4.0×4.0 インチマスク コンタクト露光、プロキシミティ露光 光源： 超高圧水銀灯
用途	フォトリソグラフィ
製造者	ユニオン光学（株）
型番	PEM-1000
導入年度	1992
設置場所	西が丘
グループ	エレクトロニクスグループ
設備利用
備考