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スピン現像機
印刷用ページを表示する 更新日：2021年8月5日更新
- 分類
- N：半導体製造・MEMS加工
- 対象
- 電気・電子
- 仕様
現像方式：スイングノズル方式によるスプレー/パドル現像
チャンバー材質：ステンレス材
薬液搬送：- 薬液1=加圧タンク
- 薬液2=ポンプ
- リンス（純粋）=ポンプ
ウェハ回転数：0から3,000rpm- 用途
- フォトレジストの現像処理
- 製造者
- ミカサ株式会社（滝沢産業株式会社）
- 型番
- AD-1200
- 導入年度
- 2018
- 設置場所
- 本部
- グループ
- 電気技術グループ
- 試験規格対応
- 備考
設備はクリーンルーム内にあります。
現像液の持込みについてはご相談ください。
| 設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
|---|---|---|---|---|---|
| 機器利用 | 9.15. | スピン現像機 [1時間につき] | S92611 | 770円 | 1,140円 |
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