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X線光電子分光分析装置［プロセス技術G］
印刷用ページを表示する 更新日：2016年12月19日更新
- 分類
- A：分析・評価：機器分析
- 対象
- 仕様
励起X線：AlKα線
X線スポットサイズ：7.5μm から 200μm まで
エッチング：アルゴン銃およびC60クラスター銃
試料サイズ：原則としてW75×D75×H18mm以内- 用途
- 試料の極表面（数nm）の元素の種類やその化学結合状態が判別できます。また、深さ方向の元素分布を知る事ができます。
- 製造者
- アルバックファイ
- 型番
- QUANTERA2
- 導入年度
- 2011
- 設置場所
- 本部
- グループ
- プロセス技術グループ
- 試験規格対応
- 備考
| 設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
|---|---|---|---|---|---|
| 依頼試験 | 6.1.22. | エックス線光電子分光分析装置によるもの ワイドスキャン測定 [1測定につき] | T634111 | 17,900円 | 34,950円 |
| 依頼試験 | 6.1.22. | エックス線光電子分光分析装置によるもの ナロースキャン測定 [1試料1時間につき] | T634211 | 18,950円 | 35,060円 |
| 依頼試験 | 6.1.22. | エックス線光電子分光分析装置によるもの ナロースキャン測定 （同一試料の追加） [1時間につき] | T634212 | 6,140円 | 12,280円 |
| 依頼試験 | 6.1.22. | エックス線光電子分光分析装置によるもの 深さ方向分析 [1試料1時間につき] | T634311 | 22,060円 | 40,530円 |
| 依頼試験 | 6.1.22. | エックス線光電子分光分析装置によるもの 深さ方向分析 （同一試料の追加） [1時間につき] | T634312 | 6,140円 | 12,280円 |
| 依頼試験 | 6.1.22. | エックス線光電子分光分析装置によるもの 面分析又は線分析 [1試料1時間につき] | T634411 | 18,950円 | 34,970円 |
| 依頼試験 | 6.1.22. | エックス線光電子分光分析装置によるもの 面分析又は線分析 （同一試料の追加） [1時間につき] | T634412 | 7,260円 | 14,540円 |
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